臥式多功能爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)
Pindola?臥式多功能爐PLX200
功能
定制化的多工藝組合機(jī)臺(tái)
軟著陸設(shè)計(jì)，自動(dòng)化成本可控
或電話聯(lián)系：
86-18924169069 / 020-31569374
技術(shù)參數(shù)
晶圓尺寸：8英寸以下
工藝類型：氧化、退火、合金、LPCVD
適用材料：硅、碳化硅
應(yīng)用領(lǐng)域：功率半導(dǎo)體、光電器件、科研
