8寸立式爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù)
晶圓尺寸：8英寸
工藝類型：氧化、退火、LPCVD(SiN/POLY/TEOS/HTO)
適用材料：硅
應(yīng)用領(lǐng)域：功率半導(dǎo)體、集成電路、科研
