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12寸立式氧化退火爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)

Bhadra?300系列立式爐

功能

主要應(yīng)用于12英寸氧化、退火及LPCVD工藝

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或電話聯(lián)系:

86-18924169069 / 020-31569374

技術(shù)參數(shù)

晶圓尺寸:12英寸

工藝類(lèi)型:氧化、退火、LPCVD(SiN/POLY/TEOS/HTO)

適用材料:硅

應(yīng)用領(lǐng)域:功率半導(dǎo)體、集成電路、襯底材料、科研

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