12寸立式氧化退火爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)
Bhadra?300系列立式爐
功能
主要應(yīng)用于12英寸氧化、退火及LPCVD工藝
或電話聯(lián)系：
86-18924169069 / 020-31569374
技術(shù)參數(shù)
晶圓尺寸：12英寸
工藝類(lèi)型：氧化、退火、LPCVD(SiN/POLY/TEOS/HTO)
適用材料：硅
應(yīng)用領(lǐng)域：功率半導(dǎo)體、集成電路、襯底材料、科研
