Bhadra?300系列立式爐
功能
主要應(yīng)用于12英寸氧化、退火及LPCVD工藝
或電話聯(lián)系:
86-18924169069 / 020-31569374
技術(shù)參數(shù)
晶圓尺寸:12英寸
工藝類(lèi)型:氧化、退火、LPCVD(SiN/POLY/TEOS/HTO)
適用材料:硅
應(yīng)用領(lǐng)域:功率半導(dǎo)體、集成電路、襯底材料、科研