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6寸碳化硅高溫退火爐管設備

功能

技術參數(shù)

Bhadra?立式高溫退火爐HBA150

功能

1.激活摻入的雜質原子
2.刻蝕工藝后溝槽平滑

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86-18924169069 / 020-31569374

技術參數(shù)

適配晶圓尺寸：4，6寸

適用襯底材料：碳化硅

適用領域：功率半導體、襯底材料、科研

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